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 A Modified Bosch Process of SF6/C4F8/O2 ICP-RIE Si Etching 相关领域
材料科学
蚀刻（微加工）
过程（计算）
反应离子刻蚀
工程物理
纳米技术
冶金
计算机科学
工程类
图层（电子）
操作系统
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| 其它 | Yi Wang, Luhua Chen |
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(2025-6-4)
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