Electrical detection of the mechanical resonances in AlN-actuated microbridges for mass sensing applications

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标题	Electrical detection of the mechanical resonances in AlN-actuated microbridges for mass sensing applications
网址	https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/doi/10.1063/1.29242...
DOI	10.1063/1.2924284 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：S. González-Castilla; J. Olivares; M. Clement; E. Iborra; J. Sangrador; et al 出版日期：2008-05-12
求助人	刘冲在 2026-08-10 14:26:45 发布自广东，悬赏 10 积分
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