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 Hot-wire chemical vapor deposition of high hydrogen content silicon nitride for solar cell passivation and anti-reflection coating applications 用于太阳能电池钝化和减反射涂层应用的高氢含量氮化硅的热线化学气相沉积
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期刊：Thin Solid Films 作者：Jason K. Holt; David G. Goodwin; Andrew M. Gabor; Fan Jiang; Michael Stavola; et al 出版日期：2003-04-01 |
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