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  Study on the Adsorption and Inhibition Mechanism of 1,2,4-Triazole on Copper Surface in Copper Interconnection CMP 铜互连CMP中1,2,4-三唑在铜表面的吸附及抑制机理研究
相关领域
苯并三唑
铜
化学机械平面化
钝化
吸附
材料科学
X射线光电子能谱
铜互连
缓蚀剂
柠檬酸
铜水管的冲蚀腐蚀
腐蚀
电化学
无机化学
化学工程
冶金
化学
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图层（电子）
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工程类
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| 其它 |
期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Qi Wang; Baimei Tan; Baohong Gao; Siyu Tian; Chunyu Han; et al 出版日期：2019-01-01 |
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