Improved Properties of the Atomic Layer Deposited Ru Electrode for Dynamic Random-Access Memory Capacitor Using Discrete Feeding Method

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标题	Improved Properties of the Atomic Layer Deposited Ru Electrode for Dynamic Random-Access Memory Capacitor Using Discrete Feeding Method
网址	https://doi.org/10.1021/acsami.1c03795
DOI	10.1021/acsami.1c03795 doi
其它	期刊：ACS Appl Mater Interfaces 作者：Kwon DS, Jeon W, Kim DG, Kim TK, Seo H, Lim J, Hwang CS 出版日期：2021-05-16
求助人	Jie 在 2026-07-21 15:09:31 发布自上海，悬赏 10 积分
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