Investigations of titanium nitride as metal gate material, elaborated by metal organic atomic layer deposition using TDMAT and NH3

已关闭

文献求助详情

标题	Investigations of titanium nitride as metal gate material, elaborated by metal organic atomic layer deposition using TDMAT and NH3
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016793170...
DOI	10.1016/j.mee.2005.07.083 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：F. Fillot; T. Morel; S. Minoret; I. Matko; S. Maîtrejean; et al 出版日期：2005-08-30
求助人	钟心在 2026-08-26 21:27:38 发布自上海，悬赏 10 积分
下载

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

2小时前，求助关闭

钟心 Lv2 求助人关闭了本次求助。

说明找到了【积分已退回】
2小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

21:27:41 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

21:27:38 科研通AI机器人（澳大利亚悉尼）收到请求，开始寻找文献

21:27:38 已向机器人发送请求
2小时前

钟心 Lv2 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 小小牛马上传了应助文件

刚刚; 羊里里梨完成签到，获得积分10

1秒前; smh完成签到，获得积分10

1秒前; 饭团不吃鱼完成签到，获得积分10

1秒前; 一名研究牲完成签到，获得积分10

2秒前; 隐形的长颈鹿完成签到，获得积分10

2秒前; 上官若男上传了应助文件

2秒前; 狂野雅琴发布了新的文献求助10

3秒前; 俏皮含双完成签到，获得积分10

4秒前; 加减乘除完成签到，获得积分10

5秒前; 香蕉觅云的应助被超级的路人采纳，获得10

6秒前; Zex完成签到，获得积分10

7秒前; 科研通AI6.4的应助被润润润采纳，获得10

7秒前; haitun发布了新的文献求助10

7秒前; 贾永芳完成签到，获得积分10

7秒前; 结实猕猴桃完成签到，获得积分10

8秒前; 孙意冉完成签到，获得积分10

8秒前; 笨笨牛排完成签到，获得积分10

8秒前; 星辰大海上传了应助文件

9秒前; yjh123上传了应助文件

9秒前; Nole的应助被hang采纳，获得30

10秒前; Kevin完成签到，获得积分10

11秒前; 到江南散步完成签到，获得积分10

14秒前; 大胆鼠标完成签到，获得积分10

14秒前; KWang发布了新的文献求助10

15秒前; ABC的风格发布了新的文献求助10

15秒前; 小王完成签到，获得积分10

15秒前; 诚心金渐基完成签到，获得积分10

17秒前; 小小牛马上传了应助文件

17秒前; xixiazhiwang完成签到，获得积分10

22秒前; 2058753794完成签到，获得积分10

22秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

24秒前; 充电宝的应助被小白采纳，获得10

24秒前; D_SUPER完成签到，获得积分10

24秒前; 哈哈完成签到，获得积分10

25秒前; 一眼顶针完成签到，获得积分10

25秒前; 怼怼完成签到，获得积分10

26秒前; 朴素半烟完成签到，获得积分10

26秒前; 100毫升完成签到，获得积分10

26秒前; 核桃的应助被hang采纳，获得30

26秒前