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Effects of substrate bias frequencies on the characteristics of chromium nitride coatings deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering
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网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789720...
DOI
10.1016/j.surfcoat.2008.08.039 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：Jyh-Wei Lee; Yu-Chu Kuo; Chaur-Jeng Wang; Li-Chun Chang; Kuan-Ting Liu
出版日期：2008-08-24
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