Temperature‐Graded Deposition of HfZrO x for Ferroelectric Capacitors With Enhanced Polarization, Reliability, and Switching

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标题	Temperature‐Graded Deposition of HfZrO x for Ferroelectric Capacitors With Enhanced Polarization, Reliability, and Switching
网址	http://dx.doi.org/10.1002/aelm.202500799
DOI	10.1002/aelm.202500799 doi
其它	期刊：Advanced Electronic Materials 作者：Sheng‐Yen Zheng; Yin‐Chen Sun; Yu‐Cheng Kao; Hsin‐Yu Hsu; Pin‐Jiun Wu; et al 出版日期：2026-06-01
求助人	warte 在 2026-07-04 20:13:46 发布自河北，悬赏 10 积分
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