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标题
Temperature‐Graded Deposition of HfZrO x for Ferroelectric Capacitors With Enhanced Polarization, Reliability, and Switching
网址
http://dx.doi.org/10.1002/aelm.202500799
DOI
10.1002/aelm.202500799 doi
其它 期刊：Advanced Electronic Materials
作者：Sheng‐Yen Zheng; Yin‐Chen Sun; Yu‐Cheng Kao; Hsin‐Yu Hsu; Pin‐Jiun Wu; et al
出版日期：2026-06-01
求助人
warte 在 2026-07-04 20:13:46 发布自河北，悬赏 10 积分
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  • 7小时前，求助关闭

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  • 7小时前

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