Optical Lithography for Advanced Semiconductor Patterning

已关闭

文献求助详情

标题	Optical Lithography for Advanced Semiconductor Patterning
网址	http://dx.doi.org/10.1117/3.100284
DOI	10.1117/3.100284 doi
求助人	123 在 2026-08-02 17:22:51 发布自山东，悬赏 20 积分
下载

Institute for Operations Research and the Management Sciences

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

20天前，求助关闭

科研通管家机器人关闭了本次求助。

说明求助超时（查看超时原因）自动关闭，请核实信息是否正确，如果确实需要，您可重新发布求助。【积分已退回】
25天前

123 Lv1 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: hansaly完成签到，获得积分10

刚刚; tzjz_zrz发布了新的文献求助10

1秒前; ming2026的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 大模型的应助被科研通管家采纳，获得30

2秒前; Ava的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 斯文的白玉的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 打打的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 李健的应助被科研通管家采纳，获得10

3秒前; 科研通AI6.2的应助被科研通管家采纳，获得10

3秒前; hansaly发布了新的文献求助10

5秒前; 钠电发布了新的文献求助10

6秒前; 宝剑葫芦完成签到，获得积分10

8秒前; Ava的应助被kitrou采纳，获得10

12秒前; 科研通AI6.4的应助被tzjz_zrz采纳，获得10

13秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

14秒前; Pami发布了新的文献求助10

18秒前; hc发布了新的文献求助10

20秒前; Pami关闭了Pami的文献求助

22秒前; 复杂惜珊完成签到，获得积分10

26秒前; hc完成签到，获得积分10

32秒前; 烨无殇完成签到，获得积分10

32秒前; 动听的谷波完成签到，获得积分10

36秒前; 小恶于完成签到，获得积分10

39秒前; longh完成签到，获得积分10

44秒前; 海棠拾月完成签到，获得积分10

44秒前; 星辰大海上传了应助文件

45秒前; 929发布了新的文献求助10

45秒前; Zozo完成签到，获得积分10

45秒前; Kao上传了应助文件

46秒前; 赘婿的应助被熊大采纳，获得10

48秒前; 努力搞科研完成签到，获得积分10

49秒前; wjh发布了新的文献求助10

50秒前; 为什么这样子完成签到，获得积分10

55秒前; Ankle完成签到，获得积分10

56秒前; 科研通AI6.4的应助被929采纳，获得10

59秒前; 你好吖完成签到，获得积分10

59秒前; 威武的碧玉完成签到，获得积分10

1分钟前; 赘婿上传了应助文件

1分钟前; 熊大发布了新的文献求助10

1分钟前; 优雅的大白菜完成签到，获得积分10

1分钟前