Artificial intelligence-driven optimization of ICP source design using COMSOL simulations

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标题	Artificial intelligence-driven optimization of ICP source design using COMSOL simulations
网址	https://doi.org/10.1063/5.0298049
DOI	10.1063/5.0298049 doi
其它	期刊：Physics of Plasmas 作者：Aris Shahbazian; M. K. Salem; M. Ghoranneviss 出版日期：2025
求助人	麦冬在 2026-03-24 15:49:17 发布自福建，悬赏 10 积分
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Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

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