Surface Kinetics and Uniformity Issues in Low-Temperature Epitaxy of Sige and Si:P Layers

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标题	Surface Kinetics and Uniformity Issues in Low-Temperature Epitaxy of Sige and Si:P Layers
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1149/MA2024-02322357mt...
DOI	10.1149/ma2024-02322357mtgabs doi
其它	期刊：ECS Meeting Abstracts 作者：Andrey Smirnov; Yury Shustrov; Daria Zimina; Alex Galyukov 出版日期：2024-12-20
求助人	阿nice 在 2026-03-26 13:59:44 发布自安徽，悬赏 10 积分
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