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标题
Optimization of the chemical mechanical polishing process for optical silicon substrates
光学硅衬底化学机械抛光工艺的优化
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1007/s00170-011-3668-9
DOI
10.1007/s00170-011-3668-9 doi
其它 期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
作者：Z.W. Zhong; Yebing Tian; Y. J. Ang; Hu Wu
出版日期：2011-10-03
求助人
稳稳 在 2025-05-22 20:56:08 发布自吉林，悬赏 10 积分
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