Advanced Atomic-scale Insights into the Chemical Mechanical Polishing Process with Ceria Abrasives using Molecular Dynamics and Neural Network Potential

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标题	Advanced Atomic-scale Insights into the Chemical Mechanical Polishing Process with Ceria Abrasives using Molecular Dynamics and Neural Network Potential
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/10564841/10564831/105649...
DOI	10.1109/ectc51529.2024.00202 doi
其它	期刊：Electronic Components and Technology Conference 作者：Yoshishige Okuno; Teruo Hirakawa; Fukiko Ota; Yuuto Kurata; Akihiro Orita; et al 出版日期：2024-05-28
求助人	Atlantis 在 2026-07-23 14:13:01 发布自上海，悬赏 20 积分
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