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  An Overview of Piezoelectric Self-Sensing Actuation for Nanopositioning Applications: Electrical Circuits, Displacement, and Force Estimation 用于纳米定位应用的压电自感知驱动综述：电路、位移和力估计
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期刊：IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 作者：Joel Bafumba Liseli; Joel Agnus; Philippe Lutz; Micky Rakotondrabe 出版日期：2019-11-01 |
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