Titanium oxide antireflection thin film on metal-assisted chemical etching black silicon substrate by liquid-phase deposition

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标题	Titanium oxide antireflection thin film on metal-assisted chemical etching black silicon substrate by liquid-phase deposition 金属辅助化学蚀刻黑硅衬底液相沉积氧化钛减反射薄膜相关领域黑硅材料科学薄脆饼钝化硅涂层蚀刻（微加工）各向同性腐蚀氧化物晶体硅表面粗糙度基质（水族馆）氧化硅光电子学化学工程复合材料分析化学（期刊）图层（电子）冶金化学色谱法氮化硅工程类地质学海洋学
网址	https://doi.org/10.1007/s00339-022-05637-3
DOI	10.1007/s00339-022-05637-3 doi
其它	期刊：Applied Physics A 作者：Jung-Jie Huang; Chien-Sheng Huang; Jui-Yu Wang; Pei-Yu Chang; Chao-Nan Chen; et al 出版日期：2022-05-13
求助人	FashionBoy 在 2025-08-28 20:44:17 发布自浙江，悬赏 10 积分
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