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 Thermal-cyclic atomic layer etching of cobalt with smooth etched surface by plasma oxidation and organometallization 相关领域
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Sumiko Fujisaki; Y. Yamaguchi; Hiroyuki Kobayashi; Kazunori Shinoda; Masaki Yamada; et al 出版日期：2022-09-19 |
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