| 标题 |
 High-temperature growth of high-purity AlN layers on AlN substrates by HVPE 相关领域
材料科学
杂质
结晶度
基质（水族馆）
石英
光电子学
冶金
复合材料
化学
地质学
有机化学
海洋学
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| DOI |
10.1117/12.2577988
doi
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| 其它 |
期刊： 作者：Nao Takekawa; K. Goto; Toru Nagashima; Reo Yamamoto; J. Kotani; et al 出版日期：2021-03-05 |
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