Plasma Processes for Vertical Niobium Nitride Superconducting Through Silicon Vias

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标题	Plasma Processes for Vertical Niobium Nitride Superconducting Through Silicon Vias
网址	https://research.tue.nl/en/publications/b940739b-ebb8-4fba-a...
DOI	10.1109/led.2024.3522184 doi
其它	期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Zhong Ren; Yi Shu; Ciaran T. Lennon; Harm C. M. Knoops; Russ Renzas; et al 出版日期：2024-12-24
求助人	舒适的曼彤在 2026-09-30 15:45:16 发布自广东，悬赏 20 积分
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