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 Process optimization and characterization of dielectric, piezoelectric, and ferroelectric properties of 30% ScAlN thin films 相关领域
材料科学
薄膜
微电子机械系统
铁电性
压电
氮化物
溅射沉积
溅射
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光电子学
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工艺优化
复合材料
沉积（地质）
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表面光洁度
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电子工程
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表征（材料科学）
氮化铝
陶瓷
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Kapil Saha; Chuan Tian; Karl Grosh; Siddhartha Ghosh; Matteo Rinaldi 出版日期：2026-08-11 |
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