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 27‐3: Invited Paper: High‐Performance Sub‐50nm Channel Length 3D Monolithically Stackable Vertical IGZO TFTs for Active‐Matrix Application 27-3：特邀论文：用于有源矩阵应用的高性能低于50nm沟道长度3D单片可堆叠垂直IGZO TFT
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期刊：SID Symposium Digest of Technical Papers 作者：Xinlv Duan; Shijie Huang; Junxiao Feng; Shihui Yin; Zhaogui Wang; et al 出版日期：2022-06-01 |
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