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 Experimental and Theoretical Studies for Optimization of Nf3 Removal from Semiconductor Processes Using Microwave Plasma Torch 利用微波等离子体炬优化半导体工艺中Nf3去除的实验和理论研究
相关领域
火炬
微波食品加热
半导体
等离子体
等离子炬
材料科学
光电子学
计算机科学
物理
冶金
电信
核物理学
焊接
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期刊： 作者：Ji Hun Kim; Chang Hyun Cho; In Je Kang; Jong-Keun Yang; Heechol Choi 出版日期：2025-01-01 |
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