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 High-performance AlGaN/GaN HEMTs with Hf0.5Zr0.5O2-based ferroelectric gate by pulsed laser deposition 脉冲激光沉积Hf0.5Zr 0.5 O2基铁电栅极高性能AlGaN/GaN HEMT
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材料科学
光电子学
脉冲激光沉积
异质结
宽禁带半导体
铁电性
原子层沉积
沉积（地质）
激光器
晶体管
栅极电介质
铁电电容器
极化（电化学）
图层（电子）
场效应晶体管
阻挡层
电子
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高-κ电介质
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电极
电流密度
电介质
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Chuanqi Liu; Zhangqing Zhu; Peijie Jiao; 光男 高橋; Lin Hao; et al 出版日期：2024-12-09 |
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