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标题
A proof of concept for hybrid nano-imprint lithography
混合纳米压印光刻的概念证明
相关领域
抵抗 平版印刷术 材料科学 纳米技术 涂层 纳米- 旋涂 多重图案 下一代光刻 浸没式光刻 闪光灯(摄影) 电子束光刻 光电子学 光学 图层(电子) 物理 复合材料
网址
DOI
10.1117/12.3032401 doi
其它 期刊:
作者:Tetsuro Nakasugi; Kazuya Fukuhara
出版日期:2024-08-26
求助人
大力灵凡 在 2025-04-24 10:20:31 发布自江苏,悬赏 20 积分
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