Characterization of striae in ULE for EUVL optics and masks

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标题	Characterization of striae in ULE for EUVL optics and masks 相关领域抛光光掩模极紫外光刻表征（材料科学）平版印刷术表面粗糙度光学材料科学表面光洁度计算机科学光电子学纳米技术物理复合材料抵抗图层（电子）
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/redirect/proceedings/proc...
DOI	10.1117/12.656355 doi
其它	期刊：SPIE Advanced Lithography 作者：W. Rosch; L. Beall; John E. Maxon; R. Sabia; R. Sell 出版日期：2006-03-10
求助人	奋斗梦旋在 2026-07-14 09:11:15 发布自广东，悬赏 20 积分
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