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Evaluation of functional properties of imaging materials for water immersion lithography |
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10.1117/12.600560
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| 其它 |
期刊:SPIE Proceedings 作者:William D. Hinsberg; J. A. Hoffnagle; G. M. Wallraff; C. E. Larson; F. A. Houle; et al 出版日期:2005-05-04 |
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(2025-6-4)