| 标题 |
 Impact on the subsurface layers of the single-crystal β-Ga2O3 wafers induced by a mechanical wear |
| 网址 | |
| DOI |
10.1016/j.mssp.2022.106520
doi
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| 其它 |
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：P.N. Butenko; L.I. Guzilova; A.V. Chikiryaka; M.E. Boiko; M.D. Sharkov; et al 出版日期：2022-06-01 |
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