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 Preparation of high-quality Y:Hf0.5Zr0.5O2 ferroelectric gate dielectric film by chemical solution deposition 化学溶液沉积法制备高质量Y：Hf0.5Zr 0.5 O2铁电栅介质膜
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期刊：2022 23rd International Conference on Electronic Packaging Technology (ICEPT) 作者：Yali Cai; Liang Yu; Wenfeng Yue; Lixia Liu; Chong Zhang; et al 出版日期：2022-09-10 |
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