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标题
Etching properties of Pt thin films by inductively coupled plasma
电感耦合等离子体对Pt薄膜的刻蚀性能
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网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.581420
DOI
10.1116/1.581420 doi
求助人
凉夏 在 2025-12-18 11:13:56 发布自浙江，悬赏 10 积分
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