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 Tunable hafnium-doped InZnO thin film transistors via plasma-enhanced atomic layer deposition 等离子体增强原子层沉积可调谐掺铪InZnO薄膜晶体管
相关领域
材料科学
原子层沉积
光电子学
兴奋剂
图层（电子）
钝化
铪
X射线光电子能谱
阈值电压
薄膜晶体管
退火（玻璃）
沉积（地质）
氧化物
氧气
阈下摆动
晶体管
共发射极
钴
空位缺陷
阈下传导
电压
电极
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| 网址 | |
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| 其它 |
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Jiong Liu; Sheng Han; Yu Zhang; Jingxuan Wei; Bojia Chen; et al 出版日期：2025-09-13 |
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