Analysis of RF magnetron sputtered MoS2 thin films for electronic application: Influence of the sputter power to film growth and composition

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标题	Analysis of RF magnetron sputtered MoS2 thin films for electronic application: Influence of the sputter power to film growth and composition
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X2...
DOI	10.1016/j.vacuum.2025.114629 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Theresa Scheler; Pascal Illgner; Thomas Kups; Anna Linkenheil; Andrea Knauer; et al 出版日期：2025-07-31
求助人	hua 在 2026-02-22 18:28:30 发布自中国，悬赏 10 积分
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