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标题
Amorphous SiCx:H and SiCxNy:H Films Obtained from Hexamethyldisilane Vapor in Inductively Coupled RF Discharge Plasma
在感应耦合射频放电等离子体中由六甲基二硅烷蒸气获得的非晶SiCx：H和SiCxNy：H薄膜
相关领域
化学 感应耦合等离子体 无定形固体 等离子体 分析化学（期刊） 环境化学 有机化学 量子力学 物理
网址
https://doi.org/10.1134/s0018143924700565
DOI
10.1134/s0018143924700565 doi
其它 期刊：High Energy Chemistry
作者：M. N. Chagin; Е. N. Ermakova; Vladimir R. Shayapov; V. S. Sulyaeva; Е. А. Максимовский; et al
出版日期：2024-11-01
求助人
danli 在 2025-11-12 00:15:20 发布自海南，悬赏 20 积分
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