Modulating oxygen vacancies via sputtered WOx top electrodes for enhanced ferroelectricity and improved fatigue stability in HZO thin films

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标题	Modulating oxygen vacancies via sputtered WOx top electrodes for enhanced ferroelectricity and improved fatigue stability in HZO thin films 相关领域材料科学薄膜铁电性氧气电极化学工程光电子学溅射复合材料纳米技术
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2025.07.227
DOI	10.1016/j.ceramint.2025.07.227 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Wen-Qi Sun; Fuling Wu; Chao Ye; Shibing Xiao; Huiting Sui; et al 出版日期：2025-07-17
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