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  Enhancing Slurry Stability and Surface Flatness of Silicon Wafers through Organic Amine-Catalyzed Synthesis Silica Sol 相关领域
抛光
化学机械平面化
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四甲基氢氧化铵
平坦度（宇宙学）
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期刊：Nanomaterials 作者：Yi Xing; Weilei Wang; Weili Liu; Zhitang Song 出版日期：2024-08-22 |
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