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Atomic Layer Deposition of Al2O3 onto Sn-Doped In2O3: Absence of Self-Limited Adsorption during Initial Growth by Oxygen Diffusion from the Substrate and Band Offset Modification by Fermi Level Pinning in Al2O3 相关领域
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期刊:Chemistry of Materials 作者:Thorsten J. M. Bayer; André Wachau; Anne Fuchs; Jonas Deuermeier; Andreas Klein 出版日期:2012-11-19 |
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