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 A Room-Temperature TiO 2 -based Ammonia Gas Sensor with Three-Dimensional Through-Silicon-Via Structure 相关领域
材料科学
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Yu-Ming Yeh; Shoou‐Jinn Chang; Pin Hsiang Wang; Ting‐Jen Hsueh 出版日期：2022-06-01 |
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