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 High reliability of piezoresistive pressure sensors by wafer to wafer direct bonding at room temperature 相关领域
压阻效应
制作
压力传感器
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Bin Song; Fanliang Li; Fulong Zhu; Sheng Liu 出版日期：2023-11-12 |
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