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标题
Ion beam etching of barium titanate for integrated photonics
用于集成光子学的钛酸钡离子束刻蚀
相关领域
蚀刻（微加工） 钛酸钡 材料科学 离子 光子学 钡 光电子学 离子束 反应离子刻蚀 聚焦离子束 梁（结构） 纳米技术 光学 化学 物理 冶金 有机化学 图层（电子） 电介质
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004357
DOI
10.1116/6.0004357 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Mingliang Zhao; Yingxuan Liu; Ruyuan Ma; Yang Qiu; Xingyan Zhao; et al
出版日期：2025-03-10
求助人
孤独采文 在 2025-06-14 12:15:31 发布自北京，悬赏 10 积分
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