发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Effect of composition uniformity in the polymer chain of EUV photoresist on lithographic performance
极紫外光刻胶聚合物链组成均匀性对光刻性能的影响
相关领域
极紫外光刻 光刻胶 平版印刷术 聚合物 材料科学 X射线光刻 作文（语言） 光刻 抵抗 链条（单位） 光电子学 纳米技术 物理 复合材料 艺术 文学类 图层（电子） 天文
网址
https://doi.org/10.1117/12.3051237
DOI
10.1117/12.3051237 doi
其它 期刊：
作者：Eun Kyo Ko; Yoorim Jang; Kwang-Woo Choi; Philjae Kang; Nara Shin; et al
出版日期：2025-04-22
求助人
许乐 在 2025-07-07 12:25:33 发布自上海，悬赏 20 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. EUV resists towards 11nm half-pitch
  2. Tuning of resist slope with hard-baking parameters and release methods of extra hard photoresist for...
  3. Stochastic defect generation depending on tetraalkylhydroxide aqueous developers in extreme ultravio...
  4. Standard AZ 5214E photoresist in laser interference and EBDW lithographies
  5. Dependence of the quality of thick resist structures on resist baking
  6. Contact photolithography modeling for thick photoresists layers
  7. The high resolution resists.
  8. Study on Fabrication Process Parameter Estimation by Visual Measurement
  9. Research and application of thick photoresist lithography using UV light
  10. <title>Electron Beam Resist And Photoresist Behavior Of Polychrome Positive Resist</title>
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 3小时前

    SYLH SYLH Lv1215 上传了文件

    待审核 134281F.pdf (667.78 KB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 6小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    12:25:39 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    12:25:35 科研通AI机器人（英国 伦敦）收到请求，开始寻找文献
    12:25:33 已向机器人发送请求

  • 6小时前

    许乐 许乐 Lv11 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
干雅柏发布了新的文献求助10
刚刚
1秒前
科研通AI2S的应助被HML采纳，获得10
1秒前
1秒前
Hello的应助被666采纳，获得10
2秒前
勤劳的老九的应助被又又采纳，获得10
2秒前
嘟嘟嘟嘟发布了新的文献求助10
2秒前
3秒前
punkhippie发布了新的文献求助10
3秒前
杜不腾发布了新的文献求助10
4秒前
ala完成签到，获得积分10
6秒前
6秒前
BFQQQQ发布了新的文献求助10
6秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
8秒前
9秒前
zdesfsfa发布了新的文献求助30
10秒前
cuckoo完成签到，获得积分10
11秒前
杜不腾完成签到，获得积分10
12秒前
三跳发布了新的文献求助10
12秒前
13秒前
归尘发布了新的文献求助10
13秒前
凄惨惨戚发布了新的文献求助10
13秒前
丘比特的应助被m(_._)m采纳，获得30
14秒前
CodeCraft的应助被sky采纳，获得10
14秒前
顾矜的应助被Spectrum_07采纳，获得40
14秒前
15秒前
15秒前
wanci的应助被橙子采纳，获得10
15秒前
felon发布了新的文献求助10
17秒前
18秒前
赘婿的应助被风中的逍遥采纳，获得10
18秒前
20秒前
Tomice发布了新的文献求助10
20秒前
20秒前
water的应助被片小海采纳，获得10
21秒前
21秒前
油田老张发布了新的文献求助10
22秒前
负责月光完成签到，获得积分10
22秒前
24秒前
25秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
A Preliminary Study on Correlation Between Independent Components of Facial Thermal Images and Subjective Assessment of Chronic Stress 500
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3971656
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3516347
关于积分的说明 11182083
捐赠科研通 3251551
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1795889
邀请新用户注册赠送积分活动 876137
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 805281
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通