Ozone-Based Atomic Layer Deposition of Alumina from TMA: Growth, Morphology, and Reaction Mechanism - 科研通

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标题	Ozone-Based Atomic Layer Deposition of Alumina from TMA: Growth, Morphology, and Reaction Mechanism 臭氧基TMA原子层沉积氧化铝：生长、形貌和反应机理相关领域材料科学形态学（生物学）沉积（地质）图层（电子）化学气相沉积机制（生物学）催化作用成核
网址	https://doi.org/10.1021/cm0608903
DOI	10.1021/cm0608903 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Simon D. Elliott; Giovanna Scarel; and C. Wiemer; Marco Fanciulli; G. Pavia 出版日期：2006-07-13
求助人	个性的茹妖在 2025-05-23 08:26:20 发布自浙江，悬赏 10 积分
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