In Situ Analysis of Electron-Induced Chemical Transformations in Vapor-Phase-Synthesized Al-Based Inorganic–Organic Hybrid Thin Films for EUV Resist Platform

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标题	In Situ Analysis of Electron-Induced Chemical Transformations in Vapor-Phase-Synthesized Al-Based Inorganic–Organic Hybrid Thin Films for EUV Resist Platform
网址	https://doi.org/10.1021/acsami.4c19426
DOI	10.1021/acsami.4c19426 doi
其它	期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Dan N. Le; Won‐Il Lee; Su Min Hwang; Ashwanth Subramanian; Nikhil Tiwale; et al 出版日期：2025-03-14
求助人	樊珩在 2026-09-29 23:37:25 发布自上海，悬赏 10 积分
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