Properties of Al Films Depend on Substrate Temperature by DC Magnetron Sputter Deposition

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标题	Properties of Al Films Depend on Substrate Temperature by DC Magnetron Sputter Deposition
网址	http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/amr.662.413
DOI	10.4028/www.scientific.net/amr.662.413 doi
其它	期刊：Advanced Materials Research 作者：Yi Shen; Ruo He Yao 出版日期：2013-02-01
求助人	哒哒哒在 2026-10-28 15:25:23 发布自重庆，悬赏 30 积分
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