Dry Etching of TaN/HfO2 Gate Stack Structure by Cl2/SF6/Ar Inductively Coupled Plasma - 科研通

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标题	Dry Etching of TaN/HfO2 Gate Stack Structure by Cl2/SF6/Ar Inductively Coupled Plasma
网址	http://dx.doi.org/10.1143/jjap.44.5811
DOI	10.1143/jjap.44.5811 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Myoung Hun Shin; Sung-Woong Na; Nae-Eung Lee; Tae Kwan Oh; Jiyoung Kim; et al 出版日期：2005-07-01
求助人	Nana 在 2026-07-17 16:29:00 发布自山东，悬赏 10 积分
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