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标题
Molecular dynamics simulation of amine formation in plasma-enhanced chemical vapor deposition with hydrocarbon and amino radicals
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002978
DOI
10.1116/6.0002978 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Anjar Anggraini Harumningtyas; Tomoko Ito; Michiro Isobe; Lenka Zajı́čková; Satoshi Hamaguchi
出版日期：2023-10-06
求助人
幽默奎 在 2026-07-30 10:34:05 发布自河南，悬赏 10 积分
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  • 17小时前

    幽默奎 幽默奎 Lv1 求助人 发起了本次求助

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