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  Chemically tailored block copolymers for highly reliable sub-10-nm patterns by directed self-assembly 通过定向自组装获得高可靠亚10nm图案的化学定制嵌段共聚物
相关领域
共聚物
层状结构
材料科学
甲基丙烯酸缩水甘油酯
平版印刷术
聚苯乙烯
甲基丙烯酸甲酯
聚合物
自组装
甲基丙烯酸酯
高分子化学
化学工程
纳米技术
光电子学
复合材料
工程类
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| 其它 |
期刊：Nature Communications 作者：Satoshi Maekawa; Takehiro Seshimo; Takahiro Dazai; Kazufumi Sato; Kan Hatakeyama‐Sato; et al 出版日期：2024-07-06 |
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