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 Closed-Loop Control of an XYZ Micro-Stage and Designing of Mechanical Structure for Reduction in Motion Errors XYZ微工作台的闭环控制和减少运动误差的机械结构设计
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铰链
扭矩
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期刊：Nanomanufacturing and Metrology 作者：Hiraku Matsukuma; Keisuke Adachi; Takuma Sugawara; Yuki Shimizu; Wei Gao; et al 出版日期：2021-01-21 |
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