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Two-photon nanolithography of positive photoresist of AZ 5214E with a spatial resolution at nanoscale
网址
http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.22.1.013001
DOI
10.1117/1.jmm.22.1.013001 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology
作者：Guo-Juan Xu; Qian-Hua Li; Chang Cheng; Rong Zou; Xiao-Jie Li; et al
出版日期：2023-03-02
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Roger 在 2026-09-03 17:18:11 发布自湖北，悬赏 20 积分
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