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 Reliable before-fabrication forecasting of MEMS piezoresistive pressure sensor: mathematical modelling and numerical simulation MEMS压阻式压力传感器制造前的可靠预测：数学模型与数值模拟
相关领域
压阻效应
微电子机械系统
压力传感器
碳化硅
材料科学
惠斯通大桥
灵敏度（控制系统）
振膜（声学）
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机械工程
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期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems 作者：Sumit Kumar Jindal; Ritayan Patra; Sayak Banerjee; Arin Paul; Dadasikandar Kanekal; et al 出版日期：2022-05-16 |
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