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 Thermal atomic layer deposition of Er2O3 films from a volatile, thermally stable enaminolate precursor 由挥发性、热稳定的烯胺化物前体热原子层沉积Er2O3薄膜
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期刊：Dalton Transactions 作者：Navoda Jayakodiarachchi; Rui Liu; Chamod D. Dharmadasa; Xiaobing Hu; D. E. Savage; et al 出版日期：2023-01-01 |
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