Thermal atomic layer deposition of Er2O3 films from a volatile, thermally stable enaminolate precursor

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标题	Thermal atomic layer deposition of Er2O3 films from a volatile, thermally stable enaminolate precursor 由挥发性、热稳定的烯胺化物前体热原子层沉积Er2O3薄膜相关领域 X射线光电子能谱原子层沉积材料科学分析化学（期刊）微晶溅射基质（水族馆）化学气相沉积图层（电子）透射电子显微镜薄膜化学计量学化学纳米技术化学工程冶金海洋学有机化学色谱法地质学工程类
网址	https://doi.org/10.1039/d3dt01824e
DOI	10.1039/d3dt01824e doi
其它	期刊：Dalton Transactions 作者：Navoda Jayakodiarachchi; Rui Liu; Chamod D. Dharmadasa; Xiaobing Hu; D. E. Savage; et al 出版日期：2023-01-01
求助人	Zyj 在 2025-08-26 15:17:17 发布自福建，悬赏 10 积分
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