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标题
Preparation of Alumina Thin Films by Reactive Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering with Millisecond Pulses
相关领域
毫秒 材料科学 薄膜 腔磁控管 溅射 光电子学 溅射沉积 高功率脉冲磁控溅射 脉冲功率 功率(物理) 纳米技术 物理 量子力学 天文
网址
DOI
10.3390/coatings14010082 doi
其它 期刊:Coatings
作者:Alexander V. Tumarkin; D. V. Kolodko; Maksim M. Kharkov; Tatiana Stepanova; Andrey V. Kaziev; et al
出版日期:2024-01-07
求助人
基拉 在 2025-10-11 17:59:30 发布自辽宁,悬赏 10 积分
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