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标题
Lithographic performances of aryl sulfonate ester modified polystyrene as nonchemically amplified resists
芳基磺酸酯改性聚苯乙烯作为非化学放大抗蚀剂的光刻性能
相关领域
抵抗 磺酸盐 芳基 聚苯乙烯 平版印刷术 聚苯乙烯磺酸盐 材料科学 高分子化学 共聚物 化学 纳米技术 有机化学 复合材料 烷基 聚合物 光电子学 钠 图层（电子） 佩多：嘘
网址
https://doi.org/10.1039/d5im00046g
DOI
10.1039/d5im00046g doi
其它 期刊：Industrial Chemistry and Materials
作者：Rongrong Peng; Peng Lian; Jinping Chen; Tianjun Yu; Yi Zeng; et al
出版日期：2025-01-01
求助人
小M 在 2025-10-12 01:56:52 发布自上海，悬赏 10 积分
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